特点:
型号: | Park XE15 |
产地: | 韩国 |
品牌: | Park 原子力 |
评分: |
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特点:
◆独特的多样品扫描减少了停机时间
◆200mm X 200mm的大样本尺寸提供了比较多的可能性
◆具有包容性的扫描模式组合可以适应大多数的需要
◆非常适合公共实验室和用户中心
规格参数:
型号 | Park XE15 | |
扫描仪 | XY扫描仪 | 100um*100um |
Z扫描仪 | 12um(可选25um) | |
形貌噪音 | <0.05nm(标准值0.02nm) | |
光学 | 物镜 | 10X (可选20X) |
电子 | 高性能DSP | 600 MHz和MIPS 4800 |
ADC | 500 kHz采样20个16位ADC的频道 | |
DAC | 500 kHz沉降21个16位DAC的频道 | |
样品台 | XY平台行程 | 150mm x 150mm |
Z平台行程 | 27.5mm | |
聚焦平台行程 | 20mm | |
样品尺寸 | 150mm,厚度小于20mm | |
物理信息 | 外形尺寸 | 820mm(长)X920mm(宽)X1280mm(高) |
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