型号: | Park XE7 |
产地: | 韩国 |
品牌: | Park 原子力 |
评分: |
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特点:
◆消除串扰并提供更准确地XY扫描
◆无需软件后处理就可以得到精确的高度测量
◆样品测量选项最多
◆全面的SPM模式
◆业内最多的可选功能和升级选项
规格参数:
型号 | Park XE7 | |
扫描仪 | XY扫描仪 | 10um*10um(可选50um*50um或100um*100um) |
Z扫描仪 | 12um(可选25um) | |
形貌噪音 | <0.03nm(标准值0.02nm) | |
光学 | 物镜 | 10X(20X可选) |
电子 | 高性能DSP | 600 MHz和MIPS 4800 |
ADC | 500 kHz采样20个16位ADC的频道 | |
DAC | 500 kHz沉降21个16位DAC的频道 | |
样品台 | XY平台行程 | 13mm X 13mm |
Z平台行程 | 29.5mm | |
聚焦平台行程 | 70mm | |
样品尺寸 | 高达100mm X 100mm最多厚20mm |
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