| 型号： | Tergeo-Pro |
| 产地： | 美国 |
| 品牌： | PIE Scientific |
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Tergeo Pro大尺寸台式等离子清洗机
Tergeo-Pro 等离子系统将腔室直径增加到 9 英寸（230 毫米）。腔室的深度增加到 13.4 英寸（430 毫米）。Tergeo-Pro 等离子系统足够大，可以容纳 8 英寸晶圆，容纳一两个 25/50 槽 6" 或 4" 石英晶舟。Tergeo-Pro 等离子系统可以具有 150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射频功率。射频功率可以 1 瓦的间隔进行调整。射频电源的频率为 13.56MHz，提供比 KHz 射频等离子系统更高的等离子生成效率。Tergeo 等离子系统不仅可以调整射频功率，还可以产生连续或脉冲等离子。脉冲比可以从 100% 调整到小于 1%。夸脱室壁结构可实现外部电容耦合射频电极设计。
以下是典型应用案例：
光刻胶灰化、除渣和硅片清洗；
在引线键合、倒装芯片底部填充、PCB去污之前清洁芯片；
生物医用涂层前表面处理，提高医用植入物的亲水性；
环氧树脂粘合前的光学元件、玻璃、光纤头和基板清洁；
PDMS、微流体、载玻片和芯片实验室；
改善金属与金属或复合材料的粘合；
改善塑料、聚合物和复合材料的粘合；
Tergeo Pro等离子清洗机的产品特点：
1.大型样品室
专门针对大尺寸基片而研发设计，腔室足够大，可容纳8英寸晶圆，一个或两个 25片/50片 6"/4"晶圆 的石英舟。
2.等离子传感器
可实时监测等离子状态，并为用户提供不同配方条件下等离子强度的定量反馈，实时显示在液晶触摸屏显示器上。等离子传感器还可以监测等离子灰化过程的进程并用作终点指示器。
3.连续或脉冲等离子
脉冲比可以从100% 调整到小于1%。改变等离子体强度超过几个数量级。
4.先进的过程控制功能
压力传感器、温度传感器、MFC中的气体流量计、等离子强度传感器、自动阻抗匹配。
Tergeo Pro等离子清洗机的技术参数：
舱体大小 | 内径230mm，外径240mm，深度340mm，可容纳一个8英寸晶圆， 一个或两个 25片/50片 6"/4"晶圆的石英舟 |
舱体材质 | 标配为高纯度圆柱形石英舱 |
样品架 | 5mm厚高纯石英板，尺寸宽度220mm x 长度280mm |
常用气体 | 空气，氧气，氢气，氩气，氮气和其他混合气体 |
气路控制 | 标配两路MFC；最多可选配三路MFC，0~100sccm之间精确控制气体流量 |
控制系统 | 7英寸电阻触摸屏操作界面 |
程序控制 | 可编程，总共有20个程序，每个程序有3个清洁步骤 |
射频频率 | 13.56MHz |
射频功率 | 标配0~150W，以1瓦间隔连续可调，自动阻抗匹配；可选配300W或500W |
等离子源 | 等离子强度探测器实时定量检测等离子状态；电阻耦合电离方式 |
电极设计 | 外置电极设计，可实现更大、更均匀的等离子体体积， 高压电极不和等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染 |
设备电源 | 220 V/50Hz |
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