桌面微型紫外光刻机

参考价：面议

核心参数

产品详情

1.产品介绍

桌面微型光刻机，专为微米级图案制作而设计，旨在保障卓越的图形转移精度。设备采用紫外LED冷光源，结合双非球面石英透镜，可生成半角<2°的平行光，相较传统接触式曝光机，其极致紧凑的体积将移形换影置于桌面之上，为操作提供了便利与精准。

该光刻机广泛适用于微流控芯片、MEMS器件、光电子器件以及声表面波器件等制备领域。其性能尤其适合高校、科研院所以及企业展开微细加工工艺研究。紧随现代技术的步伐，桌面微型光刻机的问世为微纳加工注入了新的活力，助力客户在项目目标的实现过程中迈向更高精度、更具创新性的阶段。

2.技术参数

曝光光源:紫外LED

光源波长:365nm;

曝光面积:4英寸、6英寸可选;

曝光方式:单面接触式定时曝光;

曝光分辨率:2um;

曝光强度:30~120mW/cm²可调；

曝光不均匀性:≤5%;

光源平行性:≤2°；

光源寿命:>20000h;

电源输入:AC220V+10V，50HZ

功率:250W；

重量:约22kg；

外形尺寸:382(长)*371(宽)*435(高)；

工作环境:温度0℃-40℃，相对湿度<80%

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