型号: | Q系列 |
产地: | 德国 |
品牌: | 阿尔法 |
评分: |
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微波等离子系统全自动系列
简介:
ALPHA Plasma 在半导体和电子行业里是一个全球化运营的微波等离子系统设备供应商。
我们专注于为晶圆制造和芯片封装产业提供先进的低压微波等离子技术。
我们的目标不仅仅是提供我们的精密设备,更是为我们客户提供一个能改进工艺的一站式等离。
ALPHA Plasma 的Q系列产品主要包括批处理式的2.45Ghz微波等离子去胶机,可以快速且无害的去除光刻胶。并且可以满足大多数在Descum过程中对一致性的严格要求。
除此之外,当Alpha Plasma Q系列产品配置一个晶圆用的加热卡盘时,它同样可用于单片晶圆的其他苛刻应用,比如SU-8,PI去除等。
技术选型指南:
Q 150 | Q 235 | Q 240 | ||||||
Process Chamber | 石英 Quartz | Glass | ||||||
Chamber Size(mm) | φ150 x L260 | φ240 x L260 | φ240 x L460 | |||||
Volume(L) | 6 | 11 | 21 | |||||
最大样片尺寸 Wafer Size | 4” | 6” | 8” | |||||
Chamber door | 铝制抽屉式,带微波屏蔽观察窗Aluminum,drawer type door with viewing port | |||||||
工作压力 Working Pressure(Pa) | ≤100 | |||||||
Microwave Source | 2.45GHz,50~600W连续可调50~600W Adjustable | 2.45GHz,50~1200W连续可调50~1200W Adjustable | ||||||
Gas Supply | 标配2路MFC控制最大支持6路 2 MFC Standard,Max to 6 | 标配3路MFC控制最大支持6路 3 MFC Standard,Max to 6 | ||||||
Vacuum Gauge | Pirani, 1~1*105 Pa | Baratron, 1~1000Pa | ||||||
Vacuum Valve | 电子气动阀 Electro-pneumatic valve | |||||||
显示屏尺寸 Display Size | 7” | 10.4” | 10.4” | |||||
Interface | Ethernet,USB,RS 232 | |||||||
System Control | 正版Windows Embedded Compact 2013,触摸控制图形界面显示, 图形化参数设置;支持权限控制、安全互锁、多级菜单设置;可保存并 导出运行、报警、错误等数据;导出数据格式兼容Windows Office软件。 Windows Embedded Compact 2013, Graphical user interface Software. | |||||||
Dimensions(mm) | W500*H370*D550 | W620*H500*D550 | W760*H775*D775 | |||||
Weight(Kg) | 40 | 70 | 95 | |||||
Utilities | 1 connection 3/N/PE AC 50/60 Hz 400/240 V 16 A | |||||||
Vacuum Pump | 标配干泵,可选配油泵 Dry pump or oil pump on request. | |||||||
Options: | ||||||||
Wafer Boat | √ | |||||||
Light Tower | - | √ | ||||||
HT加热台盘 Heating Chuck | - | √ | ||||||
TC温控台盘 Temperature Control Chuck |
- | √ |
用户单位 | 采购时间 |
深圳大学 | 2018/10/16 |
中山大学深圳泌尿外科医院 | 2018/04/19 |
台州学院 | 2018/10/19 |
中科院微系统所 | 2018/07/27 |
香港科技大学 | 2017/11/15 |
郑州大学 | 2016/11/26 |
上海复旦大学 | 2016/09/26 |
上海交通大学 | 2016/12/26 |
合肥工业大学 | 2016/03/30 |
兰州大学 | 2016/04/10 |
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