EM-KLEEN远程等离子清洗机

参考价：¥10万 - 30万

型号：	EM-KLEEN
产地：	美国
品牌：	PIE Scientific
评分：

核心参数

仪器种类：进口等离子体表面处理仪
射频频率： 13.56MHZ
功率： 75Watt
设备尺寸： Width 305mm; Depth 340mm; Height 200mm
样品腔容积：远程控制
样品腔材质：铝腔体
工作气体：一路/多路气体
控制方式：全自动

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产品详情


远程控制等离子清洗机型号：EM-KLEEN 用于电子显微镜等分析仪器如SEM、FIB、TEM样品室的清洁、XPS和SIMS、ASE 系统	源于劳伦斯伯克利国家重点实验室的SmartClean^TM 技术，设计精巧，智能，功能强大 EM-KLEEN 构成： Pirani压力传感器：实时监测样品室压力，可以作为安全模式的安全联锁触发器，并未功能计数器加载事件自动气体流量控制器：很容易真空抽到10-7 Torr，自动调节气体流量等离子强度传感器：用户可实时监测等离子强度状态温度传感器 : 提供联锁保护，防止长时间工作电源工作温度过高冷却风扇：大功率风冷冷却，而不会导致电源过热液晶触摸屏控制器：嵌入式微处理器，串联工作，自动控制系统，并为客户提供保护
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典型用户

用户单位	采购时间
深圳大学	2018/11/26

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