OAI面板级封装泛曝光系统Model 6020_价格- 德国韦氏纳米系统有限公司

面板级封装泛曝光系统

参考价：面议

型号：

Model 6020

产地：

美国

品牌：

OAI

评分：

产品详情

技术规格：Model 6020 型

曝光系统

曝光模式真空接触硬接触软接触渐近式接触（20μ）

分辨率 ≤ 20μ 2.0-3.0μ 3.0 - 5.0μ 5.0μm

先进的光束光学技术

光束尺寸：12" - 20" 方形

光源功率：1 Kw - 8 Kw

均匀功性率：优于±3 至 5%

相机：400 万像素双CCD

校准系统

模式识别：OAI 的增强模式识别软件

对齐精度：.5μtopside 和 1.0μ with top to bottom optionalbackside

自动对齐：顶部到底部

顶部

晶圆处理

基板尺寸：12"----20"

掩膜尺寸：14"----24"

基板厚度：可达到1 mm薄片

可达到5000μm

卡盘：可定制卡盘（选项）

跳楔动形补效偿应：找平

可用选项

红外自动对焦、

全光刻 SECS/Gem 软件的集成光刻机群

非接触式找平

德国韦氏纳米系统有限公司为您提供OAI面板级封装泛曝光系统Model 6020，OAIModel 6020产地为美国，属于其他，除了面板级封装泛曝光系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多其他,德国韦氏纳米系统客服电话400-860-5168转3855，售前、售后均可联系。

典型用户

用户单位	采购时间
天津大学	2023/05/17

售后服务