方案摘要
相比微流控研究领域中基于其他驱动原理的方法如表面梯度法、热毛细法、电润湿法和磁力法等,基于声表面波原理的方法有着明显的优点。 如基于声表面波技术的微流体装置结构简单、易于制造、适于批量生产、生物相容性良好、能够快速驱动流体且驱动力较大以及易于芯片中集成等。
声表面波SAW功率发生器
文献贡献者
优选 直流汞短弧灯
优选 晶圆划片机
优选 引线键合机
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