SDCOM 台式小晶体样品定向仪
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SDCOM 台式小晶体样品定向仪

报价：¥50万 - 100万
型号： SDCOM
产地： 德国
品牌： 弗莱贝格仪器
评分：
弗莱贝格仪器（上海）有限公司
银牌会员 丨 5年
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核心参数
产品详情
简介
SDCOM是一款适用于多种材料晶体测量的仪器，包括Si、Ge、GaAs、GaP、InP、Ag、Au、Ni、Pt等。其特点是可以测量最小1mm的样品，并且具有无水冷却系统和超高速晶体定位功能，精度可达0.01°。它能够通过Omega扫描方法一次性确定完整的晶体方位，支持手动操作，适用于研究和生产质量控制。该设备特别适用于晶圆片的平面方向标记与测量，方便后续切割和加工。不过文中提到的自动测量解决方案并未详细展开。
SDCOM的特点

  • 能够测量小至1mm的晶体到或更大的样品

  • 各种样品架及输送夹具，用于线锯、抛光等

  • 侧晶方向标记选项

  • 无水冷却

  • 最高精度：0.01°(视晶体质量而定)

  • 确定单晶的完全晶格取向

  • 使用Omega扫描方法的超高速晶体定位测量

  • 气冷式X射线管，无需水冷

  • 适合于研究和生产质量控制

  • 手动操作(没有自动化选项)

                                                                        晶体的方向是由反射位置决定                                                                                             适合多种材料

    可测量材料的例子

    • 立方/任意未知方向：Si, Ge, GaAs, GaP, InP

    • 立方/特殊取向：Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3

    • 正方：MgF2, TiO2, SrLaAlO4

    • 六方/三角：SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英)，Al2O3(蓝宝石)，GaPO4, La3Ga5SiO14

    • 斜方晶系：Mg2SiO4 NdGaO3

    • 可根据客户的要求进一步选料


    SDCOM的应用

    平面方向的标记和测量

    Omega扫描能够在一次测量中确定完整的晶体方位。因此，平面方向可以直接识别。这是一个有用的功能，以标记在平面方向或检查方向的单位或缺口。

    在晶圆片的注入和光刻过程中，平面或凹槽作为定位标记。经过加工后，晶圆片携带数百个芯片，需要通过切割将其分离。

    晶片必须正确地对准晶圆片上易于切割的晶格面。因此，检查平台或缺口的位置是必要的。为了确定平面或缺口的位置，必须测量平面内的部件。

    该仪器通过旋转转盘，可以将任何平面方向转换成用户指定的特定位置。这简化了将标记应用到特定平面方向的任务，例如必须定义平面方向时。

    对于高吞吐量应用程序，可提供自动测量解决方案。

     


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