MDPspot 单点寿命检测仪

MDPspot 单点寿命检测仪

参考价：面议
型号： MDPspot
产地： 德国
品牌： 弗莱贝格仪器
评分：
弗莱贝格仪器（上海）有限公司
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桌面单点测量


低成本的台式少子寿命测量系统，对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。
没有内置自动化。可选配手动z轴，用于厚度在156毫米以下的晶锭。
MDPspot可配电阻率测试选项。仅适用于硅，用于晶圆片，也可用于晶锭。 
结果可视化的标准软件。

特性

无接触和非破坏的电学参数测试
对外延工艺监控和不可见缺陷检测，具有可视化测试的高分辨率
对于不同级别晶圆片，提供不同的菜单选项


优势

用于不同制备阶段，从成体到最终器件，多晶硅或单晶硅单点测量载流子寿命的台式装置。
体积小，成本低，使用方便。拥有一个基本的软件，结果可视化。
适用于晶圆片到晶锭，易于高度调整。

                                                     



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