型号: | MDPspot |
产地: | 德国 |
品牌: | 弗莱贝格仪器 |
评分: |
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桌面单点测量
低成本的台式少子寿命测量系统,对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。
没有内置自动化。可选配手动z轴,用于厚度在156毫米以下的晶锭。
MDPspot可配电阻率测试选项。仅适用于硅,用于晶圆片,也可用于晶锭。
结果可视化的标准软件。
无接触和非破坏的电学参数测试
对外延工艺监控和不可见缺陷检测,具有可视化测试的高分辨率
对于不同级别晶圆片,提供不同的菜单选项
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