IRE-200 膜厚测试仪
SRPV系列膜厚传感器
SR系列膜厚传感器
一、产品概述
HRSR膜厚传感器提供半导体复杂膜层在线量测解决方案。
二、产品特点
■ 超精密厚度测量,满足5μm-800um的厚度监测 ;
■ 可测量所有具有粗糙、反射或不透明表面 ;
■ 对恶劣的工业环境适应性高 ;
■ 对热、湿或振动不敏感;
■ 采样速率大于3KHz。
三、测量原理
技术参数
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