IRE-200 膜厚测试仪
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IRE-200 膜厚测试仪

参考价：面议
型号： IRE-200
产地： 湖北
品牌： 颐光科技
评分：
核心参数
创新点
IRE-200是一款超高精度的外延层厚度测量设备，利用红外光谱经傅里叶变换进行快速分析，主要应用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各类外延片的外延层厚度测量。
武汉颐光科技有限公司
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产品详情

一、概述

IRE-200是一款超高精度的外延层厚度测量设备，利用红外光谱经傅里叶变换进行快速分析，主要应用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各类外延片的外延层厚度测量。

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■ 单抛/双抛等多种模式选择支持；

■ 自定义mapping功能；

■ 高检测速率：Si标准外延片测量25点≤3min；

■ 高检测精度：≤0.01um 。

二、产品特点

1）设备采用高性能光源模块，光源稳定性好，信噪比高，覆盖范围7800-350cm-1。

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2）搭配自主研发算法软件，可精准快速地获取测量结果。

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3) 搭配自主研发的mapping运动台，定位精准、测量速度快。

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三、产品应用

 IRE-200广泛应用于半导体行业中Si、SiC、GaAs、InP、GaN等基底材料上外延层厚度的量测。

SiC EPI量测案例

      

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技术参数

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武汉颐光科技有限公司为您提供颐光科技IRE-200 膜厚测试仪，颐光科技IRE-200 产地为湖北，属于国产其它光学测量仪，除了IRE-200 膜厚测试仪的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多其它光学测量仪,颐光科技客服电话400-860-5168转4689，售前、售后均可联系。

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