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应用领域	半导体
检测样本	集成电路
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参考标准	/

电子元件的生产过程需要各种不同的气体，如氮气、氩气、氦气甚至是压缩空气。这些工业气体大多不是在现场生产的，而是从外部采购的，这意味着它们涉及相当大的成本。除此之外，生产压缩空气还需要消耗大量的能源，这也意味着巨大的成本。为了确定主要消费者并尝试优化生产过程的操作，首先必须测量各种体积流量。便携式 FLUXUS G601 超声波流量计成为一家半导体生产商的理想测量系统：由于采用了非侵入式的测量技术，不需要打开现有的管道来设置临时的流量测量点，因此不会中断生产。由于外夹式超声波传感器只需安装在管道外部，不与内部流动的气体接触，所以绝对没有污染高纯度介质的风险。因此，外夹式超声波系统也可以毫无顾虑地在洁净室环境中使用。此外，FLEXIM 的非侵入式测量技术也不存在泄漏的风险。 FLUXUS G601 的用户特别欣赏其简单实用的可管理性、可靠性以及卓越的灵活性和多功能性。连接传感器后，测量主机会自动检测并读取存储的数据（传感器类型、序列号、校准数据）。这使得测量点的设置更加容易，并确保测量值的准确性和可追溯性。便携式 FLUXUS G601 以及永久性 FLUXUS G721 或 G704CA 超声波系统适用于各种气体以及压缩空气的非侵入式流量测量，几乎可用于所有管道材料。

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配置单

手持式超声波气体流量计FLUXUS G601
型号：FLUXUS G601

¥1 - 100万
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半导体工业

不接触介质进行测量

半导体和印刷电路板（PCB）的生产过程中采用的液体要么具有腐蚀性，要么超级纯。 FLEXIM的钳式流量计是完成这些任务的理想解决方法，因为它们永远不会与流动介质直接接触。此外，由于完全不使用金属，采用特殊的安装夹具，这种计量系统非常适合甚至时对软管的最低流量的准确测量，完全不存在污染介质流的潜在风险。 PIOX的过程折射仪产品系列解决了其它洁净室环境的应用，如：在对刻蚀后残留物的去除过程进行监控时。

电子元件的生产过程需要各种不同的气体，如氮气、氩气、氦气甚至是压缩空气。
这些工业气体大多不是在现场生产的，而是从外部采购的，这意味着它们涉及相当大的成本。除此之外，生产压缩空气还需要消耗大量的能源，这也意味着巨大的成本。为了确定主要消费者并尝试优化生产过程的操作，首先必须测量各种体积流量。

半导体环境1.jpg 便携式 FLUXUS G601 超声波流量计成为一家半导体生产商的理想测量系统：
由于采用了非侵入式的测量技术，不需要打开现有的管道来设置临时的流量测量点，因此不会中断生产。由于外夹式超声波传感器只需安装在管道外部，不与内部流动的气体接触，所以绝对没有污染高纯度介质的风险。因此，外夹式超声波系统也可以毫无顾虑地在洁净室环境中使用。此外，FLEXIM 的非侵入式测量技术也不存在泄漏的风险。
FLUXUS G601 的用户特别欣赏其简单实用的可管理性、可靠性以及卓越的灵活性和多功能性。连接传感器后，测量主机会自动检测并读取存储的数据（传感器类型、序列号、校准数据）。这使得测量点的设置更加容易，并确保测量值的准确性和可追溯性。便携式 FLUXUS G601 以及永久性 FLUXUS G721 或 G704CA 超声波系统适用于各种气体以及压缩空气的非侵入式流量测量，几乎可用于所有管道材料。

可靠、精确的测量
快速安装和调试
非侵入式的测量，因此：

不中断生产
没有污染高纯度介质的风险
无泄漏风险

最大的灵活性和通用性：单一的测量系统适用于广泛的应用范围
传感器连接后自动检测，传输校准数据，不需要零点调整
简单、直观的参数化

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文献贡献者

广州钛尔锐科技有限公司

银牌会员丨第3年

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半导体生产中的气体流量测量

半导体工业

不接触介质进行测量