方案摘要
方案下载应用领域 | 其他 |
检测样本 | |
检测项目 | |
参考标准 | 均一性<1% |
原子沉积的Al2O3膜可以应用在太阳能光伏/钙钛矿电池等领域,例如:制作钝化发射极的晶体硅太阳能电池;钙钛矿电池的钝化层;有机电致发光的封装薄膜等。本次实验在4寸硅片上镀AL3O2,ZnO薄膜,使薄膜表面具有最高的均匀性和致密性̷̷
原子沉积的Al2O3膜可以应用在太阳能光伏/钙钛矿电池等领域,例如:制作钝化发射极的晶体硅太阳能电池;钙钛矿电池的钝化层;有机电致发光的封装薄膜等。本次实验在4寸硅片上镀AL3O2,ZnO薄膜,使薄膜表面具有最高的均匀性和致密性。
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