方案摘要
方案下载| 应用领域 | 其他 |
| 检测样本 | |
| 检测项目 | |
| 参考标准 | 均一性<1% |
原子沉积的Al2O3膜可以应用在太阳能光伏/钙钛矿电池等领域，例如：制作钝化发射极的晶体硅太阳能电池；钙钛矿电池的钝化层；有机电致发光的封装薄膜等。本次实验在4寸硅片上镀AL3O2，ZnO薄膜，使薄膜表面具有最高的均匀性和致密性̷̷
原子沉积的Al2O3膜可以应用在太阳能光伏/钙钛矿电池等领域，例如：制作钝化发射极的晶体硅太阳能电池；钙钛矿电池的钝化层；有机电致发光的封装薄膜等。本次实验在4寸硅片上镀AL3O2，ZnO薄膜，使薄膜表面具有最高的均匀性和致密性。
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