型号: | 1540 |
产地: | 德国 |
品牌: | 蔡司 |
评分: |
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【技术参数】
分辨率:2nm @ 15kV
3nm @ 1kV
放大倍数:范围: 12~2,000,000×
加速电压:调整范围:20 V~30 kV
探针电流:5 pA~20 nA(12pA—100nA可选)
样品室:330(φ) x 270mm(h)
样品台:5轴优中心全自动 X=130 mm
Y=130 mm Z=50 mm
T=-3°- 70°
R=360 °连续
系统控制:基于Windows 7的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制
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