型号: | ultraplus |
产地: | 德国 |
品牌: | 蔡司 |
评分: |
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儀器規格
儀器中文名稱:場發射掃描式電子顯微鏡儀器英文名稱:FIELDEMISSIONSCANNING ELECTRON MICROSCOPE廠牌及型號:ZEISS &ULTRA PLUS。加速電壓:最小加速電壓 0.02kV,最大加速電壓 30kV,電壓可調整之最小刻度 10 Volt 。
電子東流:4pA~20nA。
放大倍率:12X-1,000,000X(SE mode)與 100X-1,000,000(BSE mode)可微調與粗調倍率增減,可 pre-set 常用倍率,並具備自動補償功能可隨工作距離或加速電壓改變自動調整倍率。解析度:1.0 nm at 15KV at WD= 2 mm ; 1.7 nm at lKV at WD = 2 mm ; 3.5 nm at0.2KVat WD=2 mm ;4.0 nm at 0.lKV at WD=2 mm 。燈絲:蕭基式熱場發射燈絲。
樣品室空間:内徑大於 320 mm(12时),高度大於 260 mm。影像儲存功能:可儲存解析度:512x384,1024x768,2048x1536和3072x2304
像素·主要附件:OXFORDX-Max50 mm(S/N:52519)新型死用液熊氮(EDS)。本儀器爲德國蔡司(Zeiss) UltraPlus 系列之場發射掃描式電子顯微鏡,適用觀察於以下樣品,
導體樣品(含磁性材料)各式金屬/牛導體/奈米碳管/導電高分子之塊材或奈米材料
非導體樣品(含生物性樣品)
各類高分子材料/玻璃/紡織品/生物樣品
儀器特點:
1.具有電荷累積消除補償器(Charge Compensator),可在高加速電壓模式下拍攝非導體樣品不需額外溅鍍金膜,亦可以低加速電壓(最低爲 0.1KV)條件下直接拍攝非導體樣品。
2.具備高電流高景深模式,以及多重偵測器與能量散射分佈儀(EDS)可作元素之定性定量分析。
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