经典案例：多晶金属氧化物中的扩散过程
TOF-SIMS的一个主要优势是可以将高横向分辨率和高深度分辨率相结合。
在双束深度剖析中，可以分别独立优化分析束和溅射束并测量化学成分的三维分布。
例图所示为La0.8Sr0.2Ga0.8Mg0.2O2.8多晶金属氧化物中扩散过程的三维分析图像，可见Cr，Fe和Y在整个样品中的扩散是不均匀的。
后期分析数据的重建允许在三维图像内分隔出不同的区域进行独立的分析。因此，通过后期对快速扩散区域和慢速扩散区域的分析数据进行重建，可以得到有关扩散过程的详细信息。
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Cr, Fe (红色) 和Ga (蓝色) 的三维叠合图
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来自不同兴趣区域(ROI)的重建深度剖析图：分别显示了高速和低速扩散区域的Cr、Fe和Y的深度分布情况。
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