普发真空APA污染管理解决系统
牛津仪器PlasmaPro100 ALE原子层刻蚀
牛津仪器PlasmaPro 100 Polaris单晶圆刻蚀系统
.1 主要在超长管道内壁使用CVD方法沉积各类涂层2. 与美国西南研究院共同研制开发3. 在长管道内壁,膜层均匀且附着力好
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