电子束光刻系统

电子束光刻系统

参考价:面议
型号: customized
产地: 德国
品牌: Raith
评分:
核心参数
关注展位 全部仪器
展位推荐 更多
产品详情

最小线宽8nm    光栅周期40nm

拼接精度:

100μm写场下,拼接精度≤20nmmean+3sigma

500μm写场下,拼接精度≤30nmmean+3sigma

套刻精度:

100μm写场下,拼接精度≤20nmmean+3sigma

500μm写场下,拼接精度≤25nmmean+3sigma

束电流稳定性<0.2%/h   束位置稳定性<120nm/8h

50KV加速电压下,写场可在0.5μm~500μm的范围内连续可调

肖特基热场发射电子束源,最高加速电压50kv,束电流范围至少为50pA~40nA,最大束电流40nA

图像发生器扫描频率50MHz20bit分辨率,最小步距为0.5nm

通用样品架可承载散片,4inch以下的衬底,4inch专用晶圆专用样品架,6inch专用晶圆专用样品架,多样品专用样品架


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供Raith电子束光刻系统customized,Raithcustomized产地为德国,属于进口有掩模光刻机,除了电子束光刻系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多有掩模光刻机,客服电话400-860-5168转5919,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

相关产品

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供Raith电子束光刻系统customized,Raithcustomized产地为德国,属于进口有掩模光刻机,除了电子束光刻系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多有掩模光刻机,客服电话400-860-5168转5919,售前、售后均可联系。
Business information
工商信息 信息已认证
当前位置: 仪器 电子束光刻系统

关注

拨打电话

留言咨询