激光退火设备

激光退火设备

参考价:面议
型号: customized-16
产地: 其他
品牌: 华卓精科
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产品详情

1. 产品概述

半导体激光退火机是用于半导体制造过程中的一种设备。退火是一种热处理过程,通过加热半导体材料来改变其性质,以实现所需的特性,如电导率、晶体结构和应力缓解。半导体激光退火机利用高能激光束来对半导体基片进行精确和控制的加热和修改

2. 设备特点

应用范围:对重掺杂碳化硅(SiC)表面沉积的过渡金属进行退火,形成良好的欧姆接触

加工尺寸:4inch、6inch

加工速度:1000mm/s

加工精度:±1μm平台参数:行程300mm×300mm

重复定位精度:±0.001mm

激光器参数:紫外

稼动率:98%以上

重大故障间隙时间:>1000H

良率:≥99.5%


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供华卓精科激光退火设备customized-16,华卓精科customized-16产地为其他,属于进口退火炉,除了激光退火设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多退火炉,客服电话400-860-5168转5919,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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