产品详情

一、产品概述：

Nikon NSR G线步进式光刻机是一款专为半导体制造设计的高精度设备，该机型采用 G 线光源和先进的步进光刻技术，能够实现高分辨率和精确的图案转移，广泛应用于集成电路（IC）、微处理器和存储器等电子元件的制造。凭借其良好的成像质量和快速的曝光速度，NSR G线非常适合大批量生产，同时其用户友好的操作界面和自动化功能大大提升了生产效率。这使得 Nikon NSR G线成为现代半导体制造过程中不可或缺的重要工具，满足行业对高质量和高效率的需求。

二、设备用途/原理：

该设备通过高强度的 G 线光源将掩模上的图案逐步投影到涂有光刻胶的晶圆表面。光源发出特定波长的光线，经过高分辨率光学系统，精确地将掩模图案投影到晶圆上进行曝光。曝光后，光刻胶的化学性质发生变化，接着进行显影，去除未曝光或已曝光的光刻胶，从而形成所需的图案。随后，采用刻蚀工艺将图案转移到晶圆材料上，最后去除残留的光刻胶。这一系列步骤使得 Nikon NSR G线能够高效地实现复杂图形的精确转移，满足现代半导体制造的高标准要求。

三、主要技术指标：

分辨率	0.65µm
N.A.	0.6
曝光光源	436nm
倍率	5:1
大曝光现场	15mm15mm 17.5mm17.5mm
对准精度	140nm

四、设备特点

Nikon NSR G线步进式光刻机

光源波长436nm

分辨率优于0.65µm

主要用于2寸、4寸、6寸生产线

广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供NIKON G线步进式光刻机Nikon NSR G，NIKONNikon NSR G产地为日本，属于无掩模光刻机/直写光刻机，除了 G线步进式光刻机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多无掩模光刻机/直写光刻机,客服电话，售前、售后均可联系。

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产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

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工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	Nikon NSR G
产地：	日本
品牌：	NIKON
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