产品详情

一、产品概述：

Nikon S205C 扫描式光刻机是一款高效能的半导体制造设备，专为 200mm 晶圆的生产设计。该机型采用先进的扫描光刻技术，能够实现高分辨率和精确的图案转移，广泛应用于集成电路、微处理器和存储器等电子元件的制造。凭借其快速曝光速度和卓越的稳定性，S205C 非常适合大批量生产，同时其用户友好的操作界面和自动化功能也降低了操作难度，提升了生产效率。这使得 Nikon S205C 成为现代半导体制造过程中重要工具，满足行业对高质量和高效率的需求。

二、设备用途/原理：

该设备通过高强度光源将掩模上的图案投影到涂有光刻胶的晶圆表面。光源发出特定波长的光线，经过高分辨率光学系统，将掩模图案精确扫描并投影到晶圆上。曝光后，光刻胶的化学性质发生变化，随后进行显影，去除未曝光或已曝光的光刻胶，从而形成所需的图案。接着，采用刻蚀工艺将图案转移到晶圆材料上，最后去除残留的光刻胶。这一系列步骤使得 Nikon S205C 能够高效地实现复杂图形的精确转移，满足现代半导体制造的高标准要求。

三、主要技术指标：

分辨率	0.15µm
N.A.	0.75
曝光光源	248nm
倍率	4:1
大曝光现场	25mm*33mm
对准精度	LSA：35nm FIA：40nm

四、设备特点

Nikon S205C扫描式光刻机

光源波长248nm

分辨率优于0.15µm

主要用于8寸及12寸生产线

广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供NIKON扫描式光刻机Nikon S205C，NIKONNikon S205C产地为日本，属于无掩模光刻机/直写光刻机，除了扫描式光刻机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多无掩模光刻机/直写光刻机,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	Nikon S205C
产地：	日本
品牌：	NIKON
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