北方华创ICP刻蚀机NMC 508系列_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述

NMC 508系列 ICP刻蚀机是电感耦合高密度等离子体（Inductively Coupled Plasma, ICP）干法刻蚀机，具有高精度、高选择性和高效率等特点。该设备广泛应用于半导体制造、微电子制造、光电子制造等领域，特别是在集成电路、微机电系统（MEMS）、光电子器件等制造过程中发挥着重要作用。

2. 设备用途/原理

NMC 508系列 ICP刻蚀机的工作原理主要是通过等离子体刻蚀和反应离子刻蚀两种技术实现。在高频电场和磁场的作用下，反应腔中产生等离子体，这些等离子体与反应气体反应，产生刻蚀反应。高频电场和磁场能够控制等离子体的分布和运动，从而实现对面片的精确刻蚀。

3. 设备特点

高精度刻蚀：NMC 508系列 ICP刻蚀机能够刻蚀出非常精细的图案，满足半导体制造对精度的要求。通过高频电场和磁场的作用，精确控制等离子体的分布和运动，实现对面片的精确刻蚀。多腔室集群设计：该设备为多腔室集群设备（Cluster Tool），具备全自动、能够进行串行或并行工艺处理的能力。系统由传输模块、金属刻蚀工艺模块、去胶模块、冷却模块、电源柜和控制柜等组成，各模块协同工作，确保工艺的高效性和稳定性。优良的颗粒控制能力：通过腔室结构和温度控制设计，提供优良的颗粒控制能力，维护便利。这有助于提升设备的稳定性、重复性和生产工艺水平，确保产品质量的一致性。广泛的应用领域：主要用于200mm硅片的金属铝和钨的刻蚀工艺，适用于0.35-0.11μm集成电路等应用场景。在Logic、BCD、Power（Si/SiC/GaN）、MEMS等多种特色工艺中均有应用。高效生产：北方华创的NMC 508系列 ICP刻蚀机已经实现量产，并在多家客户中完成验证。设备的高效生产能力有助于缩短生产周期，提高生产效率。

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创ICP刻蚀机NMC 508系列，北方华创NMC 508系列产地为北京，属于国产湿法腐蚀/刻蚀设备，除了ICP刻蚀机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法腐蚀/刻蚀设备,客服电话，售前、售后均可联系。

问商家

北方华创湿法刻蚀设备NMC 508系列的工作原理介绍湿法刻蚀设备NMC 508系列的使用方法?北方华创NMC 508系列多少钱一台?湿法刻蚀设备NMC 508系列可以检测什么？湿法刻蚀设备NMC 508系列使用的注意事项？北方华创NMC 508系列的说明书有吗？北方华创湿法刻蚀设备NMC 508系列的操作规程有吗？北方华创湿法刻蚀设备NMC 508系列报价含票含运吗？北方华创NMC 508系列有现货吗？

售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	NMC 508系列
产地：	北京
品牌：	北方华创
评分：