型号: | Beneq Transform® 300 |
产地: | 芬兰 |
品牌: | Beneq |
评分: |
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1.产品概述:
Beneq Transform 300 是一个高度通用的制造平台,面向致力于 CIS、电源、Micro-OLED/LED、先进封装和其他 MtM 应用的 IDM 和代工厂。它是一种高度可配置的解决方案,适用于多种高薄膜应用,从栅电介质到钝化和/或封装等。
2.产品优势:
大的灵活性和功能:Beneq Transform® 300 是一款同时提供热 ALD(批量)和等离子 ALD(单晶圆)技术的 300mm 原子层沉积 (ALD) 簇工具。
配置:找到适合您的设置。 Transform® 300 平台旨在满足广泛的容量和应用要求,包括先进封装、芯片封装和磁带晶圆应用。
生产力:行业标准的顶水平。 该工具包括可维护性和可用的短 MTTCR。借助我们有的预热模块,您可以享受热批量 ALD 的高吞吐量。
晶圆厂就绪:Beneq Transform® 300 与 SECS/GEM 通信功能兼容,并符合高的 SEMI S2 和 S8 标准。
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