原子层沉积ALD

原子层沉积ALD

参考价:面议
型号: Beneq 转换
产地: 芬兰
品牌: Beneq
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产品详情

1.产品概述:

Beneq Transform在其多功能性和适应性方面建立了全新的ALD集群工具产品,以满足广泛的应用和细分市场的需求。Beneq Transform 配置多个 ALD 工艺模块,以满足特定的晶圆容量要求,或者在以后进行升,以响应不断增长的数量或新的 ALD 应用。

2.产品优势:

一个平台,多种配置Beneq Transform在其多功能性和适应性方面建立了全新的ALD集群工具产品,以满足广泛的应用和细分市场的需求。Beneq Transform 配置多个 ALD 工艺模块,以满足特定的晶圆容量要求,或者在以后进行升,以响应不断增长的数量或新的 ALD 应用。

热原子层沉积和等离子体原子层沉积合二为一。

单晶圆或批量处理泛的高性能氧化物和氮化物。大限度地增加灵活的批量生产选择。凭借其灵活的自动化平台和将热批量和等离子体增强的原子层沉积工艺模块结合在一个集成系统中的功能,Beneq Transform 在如何实现处理序列以满足的薄膜沉积要求方面提供了灵活性。

为晶圆厂设计行业标准的水平晶圆装载提供即插即用的集成。预热模块消除了等待时间,并将吞吐量提升到一个全新的水平。

SEMI认证符合 SEMI S2/S8 和 SECS/GEM 标准。定制支持可确保在生产中顺利过渡到原子层沉积。


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供原子层沉积ALDBeneq 转换,BeneqBeneq 转换产地为芬兰,属于进口原子层沉积设备,除了原子层沉积ALD的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多原子层沉积设备,客服电话,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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