德国苏斯清洗设备ASx系列_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1.产品概述：

SUSS MicroTecs ASx 系列为加工掩模和 250 nm 至 90 nm 技术节点提供了先进的烘烤、显影和清洁方法。其可靠性、稳定性和高性能使平台能够满足无损加工掩模的要求，用于 248 nm 和 193 nm 光刻工艺。

2.产品工艺：

晶圆尺寸：4、6、8英寸

小片的用工具

符合 SEMI S2、S8、S13

CE认证

符合欧洲标准和机械指令 2006/42/EC、EMC- 2004/108/EC 和低电压指令 2006/95/EC

DIN ISO 14.644 2

SECS/GEM 200/300 mm 工厂自动化标准接口

3.产品优势：

采用A+喷嘴在整个掩模上连续涂布介质，使显影的冲击力小化。

显影剂主动脱气，可防止微气泡的产生，实现低的缺陷计数。

将PEB升为含APB的集群设备

高效的化学过滤（胺/酸）和精确的温、湿度控制

含SMIF装/卸载的全自动化

增强的工艺控制与监测功能

与曝光后烘烤系统APB9500结合，获得佳效果

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供德国苏斯清洗设备ASx系列，德国苏斯ASx系列产地为德国，属于湿法清洗设备，除了清洗设备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法清洗设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	ASx系列
产地：	德国
品牌：	德国苏斯
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