型号: | 定制4 |
产地: | 江苏 |
品牌: | 英思特 |
评分: |
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1. 产品概述:
英思特全自动硅料清洗机是一种高度自动化的设备,专门用于硅料的清洗处理。它通过一系列精确设计的工艺流程和先进的技术,能够高效、彻底地去除硅料表面的杂质、污垢和污染物,以满足半导体制造等对硅料高纯度的要求。该清洗机通常由多个功能模块组成,包括上料系统、清洗槽、漂洗槽、干燥系统等,各部分协同工作,实现硅料从进料到出料的全自动化清洗过程。
2. 设备应用:
· 半导体产业:在半导体芯片制造的前端工序中,对硅晶圆等硅料进行清洗,为后续的光刻、刻蚀、镀膜等工艺提供洁净的硅料表面,确保芯片的性能和质量。例如,在制造集成电路的过程中,硅料表面的任何微小杂质都可能导致芯片缺陷,因此需要高精度的清洗。
· 光伏产业:用于光伏电池生产中硅片的清洗,去除硅片表面的杂质和污染物,提高硅片的光电转换效率。比如,高效太阳能电池的生产对硅片的洁净度要求极高,全自动硅料清洗机能够满足这一需求。
3. 设备特点:
· 高度自动化:从上料到清洗、漂洗、干燥再到下料,整个过程实现全自动化控制,无需人工干预,大大提高了生产效率,降低了人工成本,同时也减少了人为因素对清洗质量的影响。
· 定制化设计:可根据客户的具体需求和生产工艺进行定制化设计,满足不同规格、不同类型硅料的清洗要求,以及与不同生产设备和生产线的无缝对接。
· 高效清洗能力:采用先进的清洗技术和优化的清洗工艺,能够快速、有效地去除硅料表面的各种杂质,确保清洗后的硅料表面洁净度达到极高标准,为后续的生产工艺提供优质的基础。
· 精确的工艺控制:配备高精度的传感器和先进的控制系统,能够对清洗过程中的各项参数(如温度、时间、溶液浓度等)进行精确控制和实时监测,保证清洗工艺的稳定性和一致性。
· 可靠的质量和稳定性:选用优质的材料和零部件,经过严格的质量检测和验证,确保设备具有良好的耐用性和稳定性,能够在长时间的连续工作中保持稳定的性能和可靠的运行。
· 节能环保:在设计和制造过程中注重节能环保,采用高效的能源利用方式和环保的清洗溶液处理方法,降低设备运行对环境的影响。
4. 产品参数(以部分为例):
以下参数仅供参考,实际参数可能因定制化需求和设备型号而有所不同。
· 清洗槽数量:通常有多个清洗槽,如 3 - 5 个,分别用于不同的清洗步骤(如预清洗、主清洗、精清洗等)。
· 清洗方式:可包括浸泡式清洗、喷淋式清洗、超声波清洗等多种方式相结合。
· 处理能力:每小时能够处理一定量的硅料,例如 50 - 200 千克 / 小时。
· 温度控制范围:清洗槽的温度可在一定范围内精确控制,如 30 - 80℃。
· 溶液循环系统:具备高效的溶液循环和过滤系统,确保清洗溶液的清洁度和有效性。
· 设备尺寸:根据生产场地和需求,设备的外形尺寸可能有所不同,一般长度在 2 - 5 米,宽度在 1 - 2 米,高度在 1.5 - 2.5 米。
· 电源要求:通常需要三相交流电,电压如 380V,频率 50Hz,功率根据设备型号和配置而定,一般在 10 - 30kW 之间。
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