德国海德堡VPG 300 DI 无掩模直接成像仪光刻机_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

产品概述：

PG 300 DI 是一款体积图案发生器，为在 i 线光刻胶中直接写入高分辨率微结构而设计。它源自掩模制作工具，具有所有先进的 VPG 系统组件，能够以高的精度和准确度进行书写。大写入区域覆盖。

写入模式	一	二
写作表现
小特征尺寸 [μm]	0.5	0.8
小行数和间距 [μm]	0.8	1.2
地址网格 [nm]	4	8
边缘粗糙度 [3σ， nm]	30	40
CD均匀度 [3σ， nm]	50	60
2鼈层对齐（全局）[nm]	100	130
写入速度 [mm2/分钟]	340*	1020*
*快速模式：680 和 2056 mm2/min，具有相似的性能，但没有规格
100 x 100 mm 的曝光时间2面积 [min]	39	17

系统特点
光源	355 nm 的高功率 DPSS 激光器
大基板尺寸和写入面积	300 x 300 毫米2
基板厚度	0 至 12 mm （可根据要求提供其他厚度）
大曝光面积	300 x 300 毫米2
自动对焦	实时自动对焦系统（光学和气动）
自动对焦补偿范围	高达 80 μm
流量箱	（闭环）温控环境试验箱
对准和计量	用于测量和对准的相机系统和软件包
其他功能和选项	100、150、200 和 300 mm 晶圆的全自动处理和预对准。光学边缘检测、顶部对准以及可选的红外和背面对准。Zerodur® 载物台和高分辨率差分干涉仪
系统尺寸
	系统 / 电子机架
宽度 [mm]	2605 / 800
深度 [mm]	1652 / 650
高度 [mm]	2102 / 1800
重量 [kg]	3550 / 180
安装要求
电气	400 VAC ± 5 %， 50/60 Hz， 16 A， 3 相
压缩空气	6 - 10 巴

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

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工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	VPG 300 DI
产地：	德国
品牌：	德国海德堡
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