牛津仪器反应性离子刻蚀系统RIEPlasmaPro 80 RIE_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1.产品概述：

PlasmaPro 80是一种结构紧凑、小尺寸且使用方便的直开式系统，可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。它易于放置，便于使用，且能确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆装卸，是研究和小批量生产的理想选择。它通过优化的电冷却和出色的衬底温度控制来实现高质量的工艺。

2.设备原理：

利用气体放电产生的等离子体，在射频电源的作用下，使气体分子电离并形成离子，这些离子在电场的作用下加速并轰击被刻蚀材料的表面，从而实现材料的去除。RIE技术的关键在于，刻蚀过程中产生的化学反应与物理轰击相结合，既保证了刻蚀的均匀性，又提高了刻蚀的速率。

3.特色参数：

直开式设计允许快速装卸晶圆

出色的刻蚀控制和速率测定

出色的晶圆温度均匀性

晶圆大可达200mm

购置成本低

符合半导体行业S2/S8标准

小型系统——易于安置

优化的电冷却系统——衬底温度控制

高导通的径向（轴对称）抽气结构 —— 确保能提升工艺均匀性和速率

增加<500毫的数据记录功能—— 可追溯腔室和工艺条件的历史记录

近距离耦合涡轮泵 —— 抽速高迅速达到所要求的低真空度

关键部件容易触及 ——系统维护变得直接简单

X20控制系统——大幅提高了数据信息处理能力，并且可以实现更快更可重复的匹配

通过端软件进行设备故障诊断 —— 故障诊断速度快

用干涉法进行激光终点监测 —— 在透明材料的反射面上测量刻蚀深度（例如硅上的氧化物），或者用反射法来确定非透明材料（如金属）的边界

用发射光谱（OES）实现较大样品或批量工艺的终点监测 —— 监测刻蚀副产物或反应气体的消耗量的变化，以及用于腔室清洗的终点监测

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供牛津仪器反应性离子刻蚀系统RIEPlasmaPro 80 RIE，牛津仪器PlasmaPro 80 RIE产地为英国，属于湿法清洗设备，除了反应性离子刻蚀系统RIE的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法清洗设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

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工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	PlasmaPro 80 RIE
产地：	英国
品牌：	牛津仪器
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