德国海德堡MLA 300 无掩模光刻机_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述：

MLA 300 无掩模光刻机提供高吞吐量、简化的工作流程以及与制造执行系统（MES）的集成。该工具用于生产传感器和传感器 IC、MEMS 和微流体器件。其他应用包括分立电子元件、模拟和数字 IC、ASIC、电力电子、OLED 显示器和先进封装。

MLA 300 可实现高的光学质量和精度。标准曝光模块的小特征尺寸为 1.5 μm。实现更高吞吐量和更高分辨率的写入模式正在我们的路线图上。MLA 300 具有自动化功能，具有可定制的装载选项、为生产环境设计的软件以及获得基材跟踪技术。

MLA 300 克服了口罩采购、验证和管理的要求，从而降低了生产成本和工作量。长寿命曝光激光器（24/7 全天候生产估计为 10 年）和较少的耗材可提高运营成本。模块化设计可实现快速维护、更换或维修。实时自动对焦可补偿基材翘曲或波纹，确保无瑕的图案。无掩模光刻技术允许对每个芯片进行图案校正和序列化，以全面跟踪产品特性，例如传感器校准。

具体参数
最小行数和间距 [μm]	2
最小特征尺寸 [μm]	1.5
CD均匀度 [3σ， nm]	200
边缘粗糙度 [3σ， nm]	80
拼接 [3σ， nm]	120
第 2 层对准 [3σ， nm]	500
背面对准 [3σ， nm]	1000
每个模块的曝光时间（100 x 100 mm² 80 mJ/cm² 和 405 nm 激光波长）	2.75 分钟
一个模块的最大写入速度 405 nm 激光波长	4615 平方毫米/分钟

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

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信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	MLA 300
产地：	德国
品牌：	德国海德堡
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