牛津仪器单晶圆刻蚀系统PlasmaPro 100 Polaris_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述

凭借在蚀刻GaN，SiC和蓝宝石等材料方面的丰富经验，我们的技术既能够满足性价比的要求、又能使器件的性能得到更优化。PlasmaPro 100 Polaris单晶圆刻蚀系统为得到更为精细的刻蚀效果提供了智能解决方案，使您在行业中能保持竞争优势。

2. 特色参数

高效的刻蚀速率

低购置成本

为腐蚀性的化学成分而设计

出色的刻蚀均匀性

适用于蓝宝石的静电压盘技术

蓝宝石和硅上的GaN

高导通抽气系统

可与其它PlasmaPro系统集成

主动冷却电 - 在刻蚀过程中保持样品温度。

高功率ICP源 - 产生高密度等离子体。

可靠的硬件且易于维护 - 可保持长时间正常运转。

磁场垫环 - 增强离子的控制和均匀性。

静电压盘技术 - 适用于蓝宝石，以及蓝宝石和硅基的GaN。

加热的腔室内衬 - 优化以减少腔壁沉积。

先进的自动匹配单元（AMU） - 提供快速，高效和准确的匹配，确保了工艺的高度精准重复性

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供牛津仪器单晶圆刻蚀系统PlasmaPro 100 Polaris，牛津仪器PlasmaPro 100 Polaris产地为英国，属于湿法腐蚀/刻蚀设备，除了单晶圆刻蚀系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法腐蚀/刻蚀设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	PlasmaPro 100 Polaris
产地：	英国
品牌：	牛津仪器
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