德国SENTECH激光干涉仪SENTECH SLI_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述

用于SENTECH Instruments等离子系统的SENTECH SLI激光干涉仪端点监测器与聚焦的相干激光束一起工作。激光束穿过等离子系统的顶部视口，并被样品反射。反射光照射到检测器上并测量强度。

2. 主要功能与优势

用于蚀刻和沉积工艺的自动激光终点检测

使用SENTECH SLI激光干涉仪进行原位测量特别适用于监测透明层的终点检测、透明层界面的终点检测以及蚀刻不透明薄膜和在界面上停留的终点检测。

多层模式顺序端点配方

多终点配方包括 EPD 的多个条件，这些条件按顺序执行，从而可以在多层蚀刻过程中根据单个薄膜特性更改等离子体工艺参数。

与SENTECH操作软件SIA集成的终点检测

SENTECH SLI激光干涉仪可以与SENTECH操作软件SIA集成，用于特定的终点检测配方，通过使用简单的行业标准命令行直接参数化终点监测。

3. 灵活性和模块化

SENTECH SLI 激光干涉仪原位光学计量终点监测仪可与整个系列的 SENTECH 等离子蚀刻和沉积处理系统一起使用，它与穿过等离子系统顶部视口的聚焦相干激光束一起工作，然后被样品反射以准确测量强度。

单独的照明（LED）和 CCD 摄像头用于观察样品和调整激光光斑。整个终点监视器由自动 x y 载物台移动，允许使用 SENTECH SIA 操作软件系统轻松进行点调整。

使用 SENTECH SLI 激光干涉仪进行自动原位测量非常适合在蚀刻或生长透明层或层状结构时监测层厚度。

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供德国SENTECH激光干涉仪SENTECH SLI，德国SENTECHSENTECH SLI产地为德国，属于激光产品，除了激光干涉仪的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多激光产品,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	SENTECH SLI
产地：	德国
品牌：	德国SENTECH
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