型号: | KS-CF300/200-8SR |
产地: | 辽宁 |
品牌: | 芯源 |
评分: |
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1. 产品概述
该清洗机设计得精密而高效,能够全面满足对晶圆表面、背面及边缘的清洗需求。借助于创新研发的二流体喷嘴技术,该设备能以极高的效率去除附着在晶圆表面的微小颗粒污染物。这一技术的突破使得清洗过程不仅迅速且彻底,确保晶圆在进入下一工序之前达到预期的洁净度。
为了实现最佳清洗效果,工程师们通过大量仿真试验与实际工艺实验相结合,优化了清洗工艺的各项参数。这种科学的调试过程能够精确控制清洗强度和时间,有效避免对晶圆表面图形造成潜在损伤,确保精密制造的需求得以满足。
针对微米级别的大颗粒污染物,清洗机配置了采用特殊材料制成的毛刷和高压喷淋装置,通过物理刷洗与高压水流相结合的方式,有效去除附着在晶圆表面的顽固污垢。这种多方位的清洗手段,使得清洗过程变得更为高效和全面。
2. 产品优势:
机台可采用防静电管路,防止水中静电荷到达晶圆表面,对图形造成破坏
翻转单元接触点少,减小了与晶圆的接触面积
所有表都为数字显示,数据上传工控机方便追溯
机台优化传输路径,产能大幅提升
软件客制化,界面友好,可按照客户要求更改
更高效的FFU
售后服务:响应快,当地驻厂服务(7X24小时)
支持工厂自动化
3. 应用域:
晶片炉管后清洗
化学气相沉积(CVD)后的清洗
物理气相沉积(PVD)后的清洗
化学机械抛光(CMP)后的清洗,后段干法刻蚀后的清洗
特殊工艺要求晶圆背部及晶圆边缘的清洗
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