芯源单片式化学清洗机KS-CM300/200_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述

KS-CM300/200单片式化学清洗机是一款高度专业化的清洗设备，广泛应用于各种半导体制造过程中的清洗工艺。其设计使其能够高效地处理沉积清洗、蚀刻后清洗、离子注入后清洗以及CMP（化学机械抛光）后清洗等多个步骤，涵盖了前段工艺（FEOL）和后段工艺（BEOL）的清洗需求。

该设备特别适配高温SPM（硫酸-过氧化氢混合液）工艺，具备难以匹敌的工艺覆盖率，达到80%以上。这一特性确保了无论是在高温条件下，还是在苛刻的化学环境中，清洗效果依然优异，从而极大地增强了晶圆的洁净度，确保后续工艺的顺利进行。

KS-CM300/200还搭载了公司独立开发的新一代高清洗效率低损伤射流喷嘴。这种喷嘴经过精心设计，能够在提供高洗净能力的同时，减少对晶圆表面的潜在损伤，确保即便是最为脆弱的薄膜结构或精细图形，也能在清洗过程中得到充分保护。由此，洁净度达到了半导体制造业先进制程所需的严格标准，符合高端芯片生产的需求。

2. 产品优势：

可配置8腔体、12腔体和16腔体，单Chamber占地面积更小
具有双面清洗能力，可配置多种化学液：
DHF,SC1,SC2,DIO3,H2SO4,IPA,DSP,ST250,EKC等
自主国产化设备，搭配芯源高速自研机械手
SC1/SC2在线及时混合DMS，可使用多种浓度配比
液体流量一键设定，闭环反馈自动调节
Chamber自动清洗，减少PM时间

3. 应用域：

RCA标准清洗
气相沉积清洗
CMP、TSV后清洗
刻蚀后清洗
EPI、ALD清洗

用于聚合物、薄膜材料的去除

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供芯源单片式化学清洗机KS-CM300/200，芯源KS-CM300/200产地为辽宁，属于湿法清洗设备，除了单片式化学清洗机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法清洗设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	KS-CM300/200
产地：	辽宁
品牌：	芯源
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