VEECO原子层沉积ALDPhoenix_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

Phoenix – 批量生产原子层沉积

1. 生产能力

Phoenix®系统经过精心设计，可在从中试生产到工业制造的任何制造环境中实现高吞吐量和长的正常运行时间。技术人员和研究人员依靠 Phoenix® 在平面和 3D 基板上实现可重复、高精度的薄膜沉积。Phoenix®支持多达6条独立的驱体生产线，可根据您的薄膜需求提供固体、液体或气体工艺化学成分。紧凑的占地面积和创新的设计使Phoenix®成为具有批量生产ALD要求的人们的实用选择。

2. 主要功能包括

对工艺参数（包括温度、流量和压力）进行精确的软件控制，即使在敏感的基材上也能实现无缺陷的涂层

获得利的 ALD Shield™ 蒸汽捕集器可防止沉积物积聚，并大限度地减少多余的工艺气体排放到环境中

大型工艺室可容纳 GEN 2.5 衬底、多个晶圆盒和更大的 3D 物体

拥有成本低，启动和运营成本低

占地面积小，可节省宝贵的洁净室空间

标准配方和 ALD 材料一应俱全

来自技术团队和博士科学家的全球全面支持和服务

符合 CE、FCC 和 CSA 标准，具有许多内置安全功能

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供VEECO原子层沉积ALDPhoenix，VEECOPhoenix产地为美国，属于外延系统，除了原子层沉积ALD的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多外延系统,客服电话，售前、售后均可联系。

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产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	Phoenix
产地：	美国
品牌：	VEECO
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