型号: | Savannah |
产地: | 美国 |
品牌: | VEECO |
评分: |
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1. 产品概述
Savannah®配备了高速气动脉冲阀,以实现我们独特的曝光模式™,用于在超高宽宽比基板上沉积薄膜。这种经过验证的精密薄膜镀膜方法可用于在纵横比大于 2000:1 >基板上沉积保形、均匀的薄膜。Savannah® 提供三种配置:S100、S200 和 S300。Savannah® 能够容纳不同尺寸的基材(S300 可达 300 毫米)。Savannah®薄膜沉积系统配备了加热的驱体线,并可选择添加多达六条线。Savannah® 能够处理气体、液体或固体体。
Veeco 是全球先的原子层沉积 (ALD) 系统供应商,为研究和工业提供全面的服务和多功能的交钥匙系统,这些系统易于访问、经济实惠且精确到原子尺度。薄膜沉积是我们的长。我们的 Savannah® 系列薄膜沉积工具就是这些能力的例证。Savannah® 已成为全球从事原子层沉积 (ALD) 的大学研究人员的选系统,他们正在寻找经济实惠且强大的平台。在过去十年中,我们已经交付了数百个这样的系统。Savannah®对驱体的高效利用和节能特性大大降低了薄膜沉积系统的运行成本。
2. 主要功能包括
原位椭圆偏振仪
原位质量控制
自组装单层膜
2循环时间
综合臭氧
低蒸气压沉积
批处理
手套箱集成
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