CMP后清洗机

CMP后清洗机

参考价：面议
型号： TSC-100/300S/200L
产地： 北京
品牌： 特思迪
评分：
核心参数
深圳市矢量科学仪器有限公司
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产品详情

该系列设备是晶圆CMP后的用清洗设备，有单工位、转位式、连线式等不同结构，以适用不同应用场景，其中连线式设备加配全自动上下片系统。该系列设备配有漂洗、双面刷洗、兆声清洗、N2吹干、高速甩干功能，集成度高，占地面积小，湿进干出，适用于各类CMP后晶圆的清洗。                                                  

功能齐全

系列设备均配有漂洗、双面刷洗、兆声清洗、N2吹干、高速甩干功能

操作简便

PLC系统，触摸屏控制，一键式自动完成刷洗清洗加工，其中连线式设备配有全自动上下片系统，cassette to cassette使用更加方便

兼容性好

通过更换夹具，可兼容4-12英寸晶圆

占地面积小

尽量减少洁净间的占地面积

产品参数

规格/型号TSC-100TSC-300STSC-200L
工艺单面刷洗双面刷洗双面刷洗
清洗工位单腔单工位单腔单工位连线式6工位
上下片手动手动全自动
机械手无无双臂机械手
晶圆尺寸4-6 inch4-12 inch6-8 inch
漂洗（预清洗）DIW冲洗DIW冲洗DIW冲洗
刷洗机构1个PVA刷，单面刷洗2个PVA刷，双面刷洗2个PVA刷，双面刷洗
兆声清洗可选可选可选
氮气吹干有有有


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供特思迪CMP后清洗机TSC-100/300S/200L，特思迪TSC-100/300S/200L产地为北京，属于湿法清洗设备，除了CMP后清洗机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法清洗设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务
  • 产品货期： 60天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训

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