| 型号： | ET200A型 |
| 产地： | 日本 |
| 品牌： | KOSAKA |
| 评分： |
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1. 样品台规格：
样品台尺寸：Φ160mm
大工件尺寸：Φ200mm
大工件厚度：52mm
大工件重量：2kg
纵向调整范围：2.5" (±5mm/160mm)
样品台材质：黑色硬质铅
手动旋转：360°（手动粗调）、±5°（微调，小约0.5°）
2. 传感器参数：
原理：光栅式传感器
Z方向测定范围：Max. 600μm
Z方向小分辨率（随放大倍率变化）：
x5,000倍时：10nm ±300μm
x10,000倍时：5nm ±160μm
x20,000倍时：2.5nm ±80μm
x50,000倍时：1nm ±32μm
x100,000倍时：0.5nm ±16μm
x200,000倍时：0.25nm ±8μm
x500,000倍时：0.1nm ±3.2μm
x1,000,000倍时：0.05nm ±1.6μm
x2,000,000倍时：0.025nm ±0.8μm
测定力：10μN～500μN
触针半径：2μm 60° 钻石针头（另有多种可选）
驱动方式：直流伺服
重复性：te = 0.2nm (1μm以下台阶时)
3. X轴（基准轴/测量轴）参数：
移动量（大行程）：100mm (±50mm)
直线度：0.2μm/100mm (全量程)，5nm/5mm (局部)
移动速度：0.005～20mm/s
线性度（linear scale）：X方向分辨率 0.1μm
位置重复误差：±5nm
以下是详细列出的机械臂参数和功能：
4. Z轴参数：
移动量：54mm
移动速度：大2.0mm/S
检出器自动停止机能
5. Y轴参数（手动定位用）：
移动量：25mm（±12.5mm）
6. 工作观察参数：
彩色1/3"CCD，配备x4物镜倍率
综合倍率：约320倍（使用19"显示器时）
视野范围：1.2mm x 0.9mm
观察方向：右侧斜视
照明系统：白色LED，支持软件调整明暗度
7. 软件功能简介：
型号：i-STAR31
可设定测量条件菜单、重复测量设定及解析菜单
支持设定下针坐标，实现定位后自动测量及解析功能
配备低通滤波功能，有效过滤噪音及杂讯
具有返回测量起始点功能
显示倍率范围：垂直方向502,000,000倍，纵方向110,000倍
强大的解析功能，包括主要图形、段差解析、粗糙度解析、内应力分析及多种段差解析选项
8. 其他参数：
床台材质：一体花岗岩
防振台（选购）：提供落地型或桌上型选项
电源规格：AC220V±10%，50/60HZ，300VA本体外观尺寸及重量：W500×D440×H610mm，重120kg，采用一体花岗岩低重心结构设计（不含防振台）
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