光学轮廓仪

光学轮廓仪

参考价:面议
型号: customized-1
产地: 美国
品牌: 布鲁克
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核心参数
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产品详情

测量模式:PSl, USl, VSl, 选配的 Film

最大扫描量程:10 mm

横向分辨率:

0.38 um minimum (Sparrow criterion)

0.13 um (with AcuityXR)

垂直分辨率:<0.01 nm

台阶高度重复性:<0.75%   <0.125% 1 sigma repeatability

最大扫描速度:122 um/sec (with laser reference)

样品反射率范围:0.05% to 100%

样品尺寸:350 mm * 304 mm x 304 mm (H x D * W) 249 mm H 自动样品台

最大样品重量:45 kg (77 kg without standard stage)

XY 品台:300 mm 自动样品台

Z 轴聚焦:249(350 mm 不带自动台)

光源:专利双LED光源

物镜:

Parfocal: 2.5X, 5x, 10X, 20X, 50X,100X, 115X

LWD: 1X, 2X, 5X10X

TTM: 2x, 5X, 10x, 20X: Bright Field: 10X

Single-objective adapter; Optional motorized five-position turret

放大器:0.55X0.75X1X1.5X, 2X auto-sensing modules


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供布鲁克光学轮廓仪customized-1,布鲁克customized-1产地为美国,属于进口轮廓仪,除了光学轮廓仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多轮廓仪,客服电话,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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