型号: | 定制2 |
产地: | 江苏 |
品牌: | 英思特 |
评分: |
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1. 产品概述:
英思特硅芯清洗机是专门用于硅芯清洗的设备,通过一系列特定的清洗工艺和技术,有效去除硅芯表面的杂质、污垢、氧化物等,以达到硅芯在半导体制造等领域应用所需的高洁净度要求。它通常由清洗槽、漂洗槽、干燥系统、传输系统、电气控制系统等部分组成,各部分协同工作,实现对硅芯的自动化清洗流程。
2. 设备应用:
· 半导体产业:在半导体芯片制造中,硅芯是重要的基础材料。硅芯清洗机用于清洗硅芯,为后续的外延生长、掺杂等工艺提供洁净的硅芯表面,确保芯片的质量和性能。例如,在制造高纯度的半导体器件时,硅芯表面的洁净度直接影响到器件的电学性能和可靠性。
· 光伏产业:用于光伏电池生产中硅芯的清洗,提高硅芯的表面质量,从而提升光伏电池的转换效率和稳定性。
3. 设备特点:
1.产品用途:适用于2"~8"硅芯清洗
2.设备介绍:本设备为柜体式腐蚀机,整台设备均采用进口件.
基本材质:箱体材质:德国兹白色聚丙烯(PP)
门板材质:德国透明聚氯乙烯(PVC)
腐蚀槽材质:德国自然色聚偏二佛乙烯(PVDF)
清洗槽材质:德国自然色聚丙烯板(NPP)
腐蚀槽配有美国聚四佛乙烯加热器,虹吸上排,传感器
清洗槽配有溢流装置和N2鼓泡装置
整机外形美观,实用
3.设备外形尺寸:2000X1000X1800(mm)
4.设备重量:8000Kg(约)
5,设备控制方式: PLC结合操作触摸屏控制
6.设备动力条件:电源:380VAC+-10%频率 50HZ+-10%,三相五线制
整机额定电功率(参考):20KW
电气性能:E级,并有良好的接地
水工:压力2-3KG/CM3,流量2m3/hr 口径DN25
DIW:压力2-3KG/CM3 流量2m3/hr(max),电阻率15MDN25
气源压缩空气:0.3~0.5MPa,口径3/8"(配有水分离器)
排废:DN50
排废酸:DN40
排风:DN200
环境要求:空气温度5-40°C;相对湿度:80
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