| 型号： | NE-Q05 |
| 产地： | 广东 |
| 品牌： | 纳恩科技 |
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一、设备介绍
NE-Q05是一款石英真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。小型石英等离子清洗机结构主要包括控制单元、石英真空腔体、真空泵三部分。等离子清洗机的工作流程为：腔体抽真空—充入工艺气体—电离工艺气体并清洗—去除工件。清洗首先在真空腔体内单种或者多种清洗所需气体，一般为Ar、O2、N2等，外加射频功率在平行电极之间形成交变电场，电子通过电场加速对工艺气体进行冲击使气体发生电离形成离子，作用在被清洗表面，电离产生的粒子与电子数量达到一定规模，便形成了等离子体。等离子体高速撞击材料表面，与被清洗表面污染物发生理化反应，实现材料的清洗，并利用气流将污染物排出腔体。通过等离子清洗可以有效清除被清洗表面污染物、改善表面状态、增加材料的粘附性能、提高材料表面的浸润性能。
NE-Q05 系统功能特点：
•真空腔体材质采用石英玻璃，不易与材料表面发生反应，污染清洗样品
•等离子发生器采用13.56MHz射频发生器，自动阻抗匹配调谐
•触摸屏用户界面+PLC控制，可储存多条工艺程序，全自动运行
•配备两路气路通道，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪
•整体外观处理工艺、机架门板烤漆、耐用、防刮
•铝合金自动门：氧化处理、喷砂
•电路设计电流过载保护，模块式电路、维修方便快捷
•手动、自动、真空保压均可操作，不倒翁橡胶脚杯，自动平衡机器、减震
二、设备参数
序号 | 项目 | 型号规格 | 参数 |
1 | 等离子体发生器 | 功率 | 0-200W可调 |
频率 | 13.56MHz 固态射频电源 | ||
2 | 真空反应腔室 | 腔体材质 | 石英耐热玻璃 |
腔体容积 | 5L | ||
载物托盘 | 玻璃托盘，平行放置 | ||
腔体直径（圆形） | Φ150×270（D）mm | ||
3 | 气路控制 | 气体流量控制器 | 浮子针阀流量控制器， 0-1000ML |
气路数量 | 最小2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气，四氟化碳等 | ||
4 | 真空测量 | 真空计 | SMC 真空计 |
5 | 抽气系统 | 真空泵 | 飞越 8m3/H |
极限真空度 | 0.1PA | ||
6 | 控制系统 | 触摸屏 | 4.3寸 |
PLC | 松下PLC模块 | ||
软件程序 | 自主专利设计等离子控制系统 | ||
7 | 场务条件 | 电源供应 | 220V |
气管接口 | 直径8mm | ||
气体纯度 | 99.99% | ||
气体压力 | 0.3-0.6Mpa | ||
排气口 | KF25 | ||
8 | 整机参数 | 整机功率 | 1000W |
外形尺寸 | 600mm(L)×450mm(W) ×500 mm(H) | ||
重量 | 40kg |
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