NE-PE05科研仪器真空等离子清洗设备

NE-PE05科研仪器真空等离子清洗设备

参考价:面议
型号: NE-PE05纳恩科技
产地: 广东
品牌: 纳恩科技
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产品详情

一、设备简介

NE-PE05是一款小型真空等离子处理系统,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2 Pa的真空压强,同时根据客户工艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体,采用进口高品质等离子发生器,使得通入的工艺气体产生等离子体,并确保稳定产生高密度,高能量的离子等离子体与材料发生复杂的物理,化学反应,可以实现不同的工艺功能,比如清洗,活化,刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电,根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光

 

NE-PE05 系统功能特点:

 

•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置

•不锈钢托盘设计,可调节托盘间距

•8K镜面不锈钢腔体,卓越密封性

·数字高频等离子发生器,产生高密度等高子体,确保出众的清洗效果;

•直观的触摸屏,过程参数实时监控。

•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求

•支持各种工艺气体,包括氩气,氧,氢,氦和氟化气体

•通过联锁门或可移动的板

•两个标准的浮子针阀流量控制器,最佳气体控制

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深圳纳恩科技有限公司为您提供NE-PE05科研仪器真空等离子清洗设备NE-PE05纳恩科技,纳恩科技NE-PE05纳恩科技产地为广东,属于等离子体表面处理仪,除了NE-PE05科研仪器真空等离子清洗设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多等离子体表面处理仪,纳恩科技客服电话,售前、售后均可联系。

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