型号: | NE-PE05纳恩科技 |
产地: | 广东 |
品牌: | 纳恩科技 |
评分: |
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一、设备简介
NE-PE05是一款小型真空等离子处理系统,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2 Pa的真空压强,同时根据客户工艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体,采用进口高品质等离子发生器,使得通入的工艺气体产生等离子体,并确保稳定产生高密度,高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理,化学反应,可以实现不同的工艺功能,比如清洗,活化,刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电,根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。
NE-PE05 系统功能特点:
•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
•不锈钢托盘设计,可调节托盘间距
•8K镜面不锈钢腔体,卓越密封性
·数字高频等离子发生器,产生高密度等高子体,确保出众的清洗效果;
•直观的触摸屏,过程参数实时监控。
•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体,包括氩气,氧,氢,氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•两个标准的浮子针阀流量控制器,最佳气体控制
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