| 型号： | NE-PE250C |
| 产地： | 广东 |
| 品牌： | 纳恩科技 |
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NE-PE250C 是一款大型工业用真空等离子处理系统，设备配备大功率、大腔体、密度 大、高稳定性，适用于大规模连续生产。设备采用高性能真空泵快速产生超低的真空压 强。同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用高品质 等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的 离子。等离子体与材料发生 复杂的物理，化学反应，可 以实现不同的工艺功能，比 如清洗，活化，刻蚀与涂敷 等。等离子态显著的特点是 高均匀性辉光放电，根据不 同气体发出从蓝色到深紫 色的色彩可见光。
抽真空系统
抽真空系统包含真空泵、真空测量仪、真空管道等；
真空泵抽真空时间≤120S，真空度可达 30PA 以内；
工作真空度：10-50Pa，可自动进行压力控制；
破真空时间：15S 以内；
真空探测仪采用电阻式皮拉尼真空计，使用寿命长，探测精准；
真空管道采用航空铝合金材质稳定可靠。
等离子发生系统包含等离子电源、自动匹配器和反应腔室等。
等离子电源选用高频离子源，频率 40KHz，功率 0-5000W，稳定性好，运行准确，精 度高，能稳定提供等离子所需能量，保证等离子处理效果。
等离子发生腔体为航空铝合金腔体，其内部电极组合能通过改变电极板的位置来灵 活的改变工作区间的高度和等离子清洗的强度，来适应不同工件的清洗要求。
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