型号: | NE-PE02 |
产地: | 广东 |
品牌: | 纳恩科技 |
评分: |
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一、设备简介
NE-PE02是一款小型真空等离子处理系统,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2 Pa的真空压强,同时根据客户工艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体,采用进口高品质等离子发生器,使得通入的工艺气体产生等离子体,并确保稳定产生高密度,高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理,化学反应,可以实现不同的工艺功能,比如清洗,活化,刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电,根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。
NE-PE02 系统功能特点:
•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
•不锈钢托盘设计,可调节托盘间距
•8K镜面不锈钢腔体,卓越密封性
·数字高频等离子发生器,产生高密度等高子体,确保出众的清洗效果;
•直观的触摸屏,过程参数实时监控。
•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体,包括氩气,氧,氢,氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•两个标准的浮子针阀流量控制器,最佳气体控制
设备参数
序号 | 项目 | 型号规格 | 参数 |
1 | 等离子体发生器 | 功率 | 0-300W可调 |
抗辐射干扰高频匹配器 | 自动阻抗匹配 | ||
频率 | 40 KHz | ||
2 | 真空反应腔室 | 腔体材质 | 进口 316 不锈钢,军工级密封 |
腔体容积 | 2L | ||
电极数量 | 1 个镀金铝合金专用电极 + 1个不锈钢托盘 | ||
腔体直径(圆形) | 100(W)×270(D)mm | ||
有效处理范围 | 80(W)*235(D)mm | ||
绝缘陶瓷 | 进口高频陶瓷 | ||
3 | 气路控制 | 气体流量控制器 | 浮子针阀流量控制器, 0-500ML |
气路数量 | 最小2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氨气,氢气,四氟化碳等 | ||
4 | 真空测量 | 真空计 | SMC 真空计 |
5 | 抽气系统 | 真空泵 | 飞越 8 M3/H |
极限真空度 | 0.1PA | ||
真空管路 | 不锈钢管路+气动阀门 | ||
6 | 控制系统 | 触摸屏 | 4.3寸 |
PLC | 松下PLC模块 | ||
软件程序 | 自主专利设计等离子控制系统 | ||
7 | 场务条件 | 电源供应 | 220V |
气管接口 | 直径8mm | ||
气体纯度 | 99.99% | ||
气体压力 | 0.3-0.6Mpa | ||
排气口 | KF25 | ||
8 | 整机参数 | 整机功率 | 1000W |
外形尺寸 | 长*宽*高 : 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H) | ||
重量 | 40kg |
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