型号: | eLINE |
产地: | 德国 |
品牌: | Raith |
评分: |
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广泛使用的eLINE系统是大学和研究中心寻求通过单一多功能电子束光刻(EBL)系统访问纳米制造应用宽带的最佳系统。
eLINE 的先进光刻基础设施支持超高分辨率电子束光刻和大面积纳米加工。此外,eLINE 的多功能性结合了电子束光刻,纳米工程,超高分辨率和大面积SEM成像的世界,包括用于计量和过程控制的专用功能。
eLINE 提供以下智能构建基块和概念:
• 先进的30 kV TFE电子光柱技术
• 创新独特的无针迹书写策略
• 晶圆级自动计量和过程控制的专用功能
• 激光干涉仪平台
• 多探测器概念
• 多端口真空室
• 开放和可升级的平台概念
• Raith NanoSuite:全面集成所有模块的全面软件界面
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