eLINE 多功能电子束光刻系统
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eLINE 多功能电子束光刻系统

参考价:面议
型号: eLINE
产地: 德国
品牌: Raith
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锐时科技(北京)有限公司
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广泛使用的eLINE系统是大学和研究中心寻求通过单一多功能电子束光刻(EBL)系统访问纳米制造应用宽带的最佳系统。


eLINE 的先进光刻基础设施支持超高分辨率电子束光刻和大面积纳米加工。此外,eLINE 的多功能性结合了电子束光刻,纳米工程,超高分辨率和大面积SEM成像的世界,包括用于计量和过程控制的专用功能。 


eLINE 提供以下智能构建基块和概念:


• 先进的30 kV TFE电子光柱技术

• 创新独特的无针迹书写策略

• 晶圆级自动计量和过程控制的专用功能

• 激光干涉仪平台

• 多探测器概念

• 多端口真空室

• 开放和可升级的平台概念

• Raith NanoSuite:全面集成所有模块的全面软件界面


锐时科技(北京)有限公司为您提供RaitheLINE 多功能电子束光刻系统,RaitheLINE产地为德国,属于进口电子束曝光机,除了eLINE 多功能电子束光刻系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多电子束曝光机,锐时科技(北京)客服电话400-860-5168转5901,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 365天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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