| 型号： | JSD-300 |
| 产地： | 安徽 |
| 品牌： | 西南科技 |
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用途：
本设备是我公司研发用于真空蒸发镀光学薄膜、有机物薄膜和金属薄膜。特 别适合小型企业、科研单位和高校使用。
主要技术参数：
1. 真空室： 300*300*550mm 方箱形；
2. 样品尺寸：φ150mm（根据客户订制）；
3. 样品台：水冷样品盘可旋转 0-60 转/分可调，样品台配独立挡板；
4. 极限真空度：优于 6.67*10-5Pa;
5. 抽气时间：大气压~8*10-4Pa 小于 30min；
6. 蒸发：二套蒸发源配一套 2KW 电源（一套可切换）；
7. 开启方式：前面开启门设计，便于换丝及装料；
8. 真空系统：机械泵+分子泵；
9. 膜厚测量仪：进口英福康 SQM160，含探头一套。
设备结构介绍：
该设备由真空室、真空机组和电气系统组成。
1. 真空室
方箱形腔体前开门侧面抽气结构，304 不锈钢材质，配φ100 观察窗，方便更换蒸发材料（含防污挡板）、预抽接口、充气接口；内部有底板、蒸发源（三组蒸发源相互隔离避免交叉污染），蒸发源上配有独立自动挡板装置等；
2. 真空系统
采用莱宝450i分子泵+8L机械泵。采用真空波纹管连接，配有复合式数显真空测量仪表。
3. 电气系统
电气系统包括真空机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。有安全互锁机构，有效防止误操作发生。系统配有 2 套蒸发电源（一套可切换），通过切换选择上电。
4. 膜厚测量装置：采用石英晶振膜厚仪及水冷探头一套。
5. PLC+触摸屏控制系统，可实现一键抽真空，一键关机。
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