| 型号： | iSPRAY-300 |
| 产地： | 安徽 |
| 品牌： | 西南科技 |
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iSPRAY-300是一款精密的喷胶机，适用于手动喷涂或喷雾显影工艺，主要被应用于研究与开发实验室，尤其是MEMS加工的试产和小量产场合。适用于最大直径为300mm的晶圆或尺寸为12x12英寸的基板。
主要特点及参数：
1.可编程，最多50个程序
2.适用于重复工艺的快速启动功能
3.工艺参数：喷嘴行进路径，喷洒时间，电气驱动的喷洒臂在X或Y轴方向上的速度可选
4.可调整的喷嘴，具有恒定的喷洒压力和自动的清洁功能
5.用于计量压缩空气和检查真空度的指示元件
6喷洒臂的速度和定位精度：最大0.4m/s,±0.1mm
7.每个分段的喷洒时间：最长为9999秒，调节步幅为0.1秒
8.喷洒循环的数目：最多20个曲回循环
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