bruker布鲁克三维光学轮廓仪ContourX-200
日立白光干涉显微镜VS1800
德国dataphysics白光干涉三维形貌仪SPA25
1,优于1nm分辨率,轻松测量硅片表面粗糙度测量,Ra=0.7nm
2,毫米级视野,实现5nm-有机油膜厚度扫描
3,纳米级精度,实现微米级的深度宽度测量
4,自动聚焦,自动调平,一键生成统计报告
5,全新搭载ECT抗干扰系统,兼容生产线自动化测量
6,全新人机交互软件设计,充分提高使用便捷性
3D光学轮廓成像系统
高精度平面度测量系统
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超长距离 大型3D轮廓测量
龙门式 大行程样品测量
旋转台 圆度圆柱度跳动测量
植入式 孔壁3D旋转扫描测量
融合2D/3D 缺陷判别测量
晶圆耦合高精度定位
外置式 超长距离减薄厚度测量
嵌入式 激光焊接质量实时监控
3D激光光频梳成像系统
3D相干断层扫描系统
轮廓仪
其它长度计量仪器/常规量具
粗糙度仪
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