德国dataphysics白光干涉三维形貌仪SPA25
日立白光干涉显微镜VS1800
三维表面形貌测量传感器IF-Sensor R25
1,激光光学频率梳原理&高速激光脉冲TOF测试方式
2,多探头设计,超长工作距离3D轮廓扫描
3,多探头设计,超长工作距离3D轮廓扫描
4,同轴落射的扫描方式,无惧遮挡,满足大视野复杂结构测量
5,微米级精度下,满足最大130mm深度测量
6,三丰标准块下,满足10um台阶测量
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