bruker布鲁克三维光学轮廓仪ContourX-500
日立白光干涉显微镜VS1800
德国dataphysics白光干涉三维形貌仪SPA25
1,激光光学频率梳原理&高速激光脉冲TOF测试方式
2,同轴落射扫描原理,无惧“遮挡”等复杂结构
3,2D 视觉高速拍摄&定位
4,3D激光的缺陷判别
5,500kHz激光扫描频率,同步扫描3D轮廓形貌
6,微米级精度,激光扫描3D缺陷形貌
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龙门式 大行程样品测量
旋转台 圆度圆柱度跳动测量
植入式 孔壁3D旋转扫描测量
融合2D/3D 缺陷判别测量
晶圆耦合高精度定位
外置式 超长距离减薄厚度测量
嵌入式 激光焊接质量实时监控
3D激光光频梳成像系统
3D相干断层扫描系统
高精度平面度测量系统
轮廓仪
其它长度计量仪器/常规量具
粗糙度仪
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